本规范适用于新建和改建的、整体和装配的、固定和移动的洁净室及相关受控环境的施工及验收。
1 总则;
2 术语;
3 建筑结构;
4 建筑装饰;
5 风系统;
6 气体系统;
7 水系统;
8 化学物料供应系统;
9 配电系统;
10 自动控制系统;
11 设备安装;
12 消防系统;
13 屏蔽设施;
14 防静电设施;
15 施工组织与管理;
16 工程检验;
17 验收.
附录A 风管分段漏风检测方法;
附录B 施工检查记录表;
附录C 施工验收记录表;
附录D 高效空气过滤器现场扫描检漏方法;
附录E 洁净室综合性能检验方法;
附录F 洁净室生物学评价方法;
附录G 洁净室气密性检测方法;
附录H 分子态污染物的检测。
本标准用词说明。
引用标准名录。
附:条文说明。
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